几种常见的真空管件金属密封法兰类型

在某些需要高温烘烤(大于200ºC的烘烤环境)或采用低蒸汽压(常温下小于10°C的真空设备)的非常高真空设备中，金属密封材料由于其不耐高温、放气量大，不适合在这种环境下使用。

下面是一些金属密封法兰型式。

直线密封。

正方形的密封就是在密封台阶上有0.025mm的间隙，可以保证密封圈在压缩变形时呈“L”形。对下凸缘台阶，则要方便定位O型圈，要求表面粗糙度优于R型圈1.6,O型圈压缩为50%。常用的O型圈金属丝直径有：0.5mm,0.6mm,0.8mm,1mm和1.5mm这五种。

锥形端面密封

锥端端面的密封要求密封件的表面具有优于R1.6的粗糙度，并且上下两个锥面的角度应一致，以确保密封的可靠性。其常用的密封环材料有铝、镍、铜，不锈钢法兰等不锈钢。封口法兰的材料选择一般采用碳钢或不锈钢。

平板凸缘密封

平法兰密封是这里列出的金属密封法兰型式中较简单的形式，其密封面不需考虑配对，且其表面粗糙度要求为R=1.6-R=0.25，也比较容易达到。普通法兰封常用的材料有金，铜，铝。

这种法兰密封的主要缺点是密封圈的定位问题，比较棘手，而且其接触面大，密封力要求高，因此常用于小直径法兰连接密封中。

惠勒密封

刀宽等于密封圈线径，均为2mm，采用无氧高导铜作密封圈材料。衬垫因受压而产生塑性变形，从而填满左边的空间，把多余的部分从右边挤压出来，形成可靠的密封环境。还可用聚四氟乙烯作为密封材料。

在真空设备中，金属密封是一种重要的密封材料，它具有极低的放气量，并能承受持续的高温烘烤环境，因而成为真空设备中不可或缺的组成部分，在非常高真空镀膜设备中有着广泛的应用。